Центрифуга для вакуумной камеры
Прислано mer на May 05 2009 21:29:05
Суть предложения: Для улучшения качества вакуума в вакуумной камере цилиндрической формы
использовать вращающийся обод с лопастями. При вращении обода остатки газа не только прижимаются к стенке ...

Расширенные новости
Суть предложения: Для улучшения качества вакуума в вакуумной камере цилиндрической формы
использовать вращающийся обод с лопастями. При вращении обода остатки газа не только прижимаются к стенке
в результате центробежной силы, но и увеличивается поступательная доля броуновского движения молекул газа
в середине камеры, из за чего остатки газа не удерживаются в этой зоне.


Предполагается применение в электронном микроскопе и установках микролитографии на его принципе, которые
могут работать как на отраженных от шаблона электронах, так и пропущенном через шаблон сходящемся
сфокусированном электронном пучке.