Главная     Лента технологий     Каталог технологий     Форум
Навигация






Гость
Имя

Пароль



Вы не зарегистрированны?
Нажмите здесь для регистрации.

Забыли пароль?
Запросите новый здесь.
Центрифуга для вакуумной камеры
ИдеяФизикаСуть предложения: Для улучшения качества вакуума в вакуумной камере цилиндрической формы
использовать вращающийся обод с лопастями. При вращении обода остатки газа не только прижимаются к стенке
в результате центробежной силы, но и увеличивается поступательная доля броуновского движения молекул газа
в середине камеры, из за чего остатки газа не удерживаются в этой зоне.


Предполагается применение в электронном микроскопе и установках микролитографии на его принципе, которые
могут работать как на отраженных от шаблона электронах, так и пропущенном через шаблон сходящемся
сфокусированном электронном пучке.

Опубликовал mer May 05 2009 21:29:05 · Для печати